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由清华大学朱煜教授主持完成的“纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用”项目获得一等奖,该成果突破了纳米运动精度超精密光刻机双工件台系列关键技术,使我国成为世界上第二个掌握双工件台研制技术的国家,有详情

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